電子行業(yè)半導(dǎo)體用超純水設(shè)備、集成電路板高純水設(shè)備
2017/7/20 10:13:43點(diǎn)擊:
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程:
① 預(yù)處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對(duì)象
② 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)( PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象
③ 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象
④ 預(yù)處理--反滲透--中間水箱--水泵--EDI裝置--純化水箱--純水泵--紫外線殺菌器--精制拋光混床---TOC分解器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象 (新工藝)
電子超純水設(shè)備特點(diǎn):
設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
電子超純水應(yīng)用領(lǐng)域:
⊙ 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
⊙ 超純材料和超純化學(xué)試劑;
⊙ 實(shí)驗(yàn)室和中試車間;
⊙ 汽車、家電表面拋光處理;
⊙ 光電產(chǎn)品;
⊙ 其他高科技精微產(chǎn)品;
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程:
① 預(yù)處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對(duì)象
② 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-加藥機(jī)( PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級(jí)反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象
③ 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象
④ 預(yù)處理--反滲透--中間水箱--水泵--EDI裝置--純化水箱--純水泵--紫外線殺菌器--精制拋光混床---TOC分解器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對(duì)象 (新工藝)
電子超純水設(shè)備特點(diǎn):
設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。
電子超純水應(yīng)用領(lǐng)域:
⊙ 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
⊙ 超純材料和超純化學(xué)試劑;
⊙ 實(shí)驗(yàn)室和中試車間;
⊙ 汽車、家電表面拋光處理;
⊙ 光電產(chǎn)品;
⊙ 其他高科技精微產(chǎn)品;
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